而今,海内石英坩埚出产企业出产中采用的出产设施及工艺技能全部源于上世记70年代初锦州155厂从日本引入的出产设施及工艺技能,该项技能设施自动化程度不高,通体出产流程中更多的依赖人力来实现,当前海内新上的坩埚出产设施都已往自动化发展。
1.石英坩埚可在1450度以下采用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉延大半径单晶硅,发展大规摸集成电路必不能少的基本材料。当今,天下半导体工业腾达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他拥有纯度高、耐温性强、比例大、精度高、保温性好、俭省资源、质量安定等长处。 2、无法和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐效用。 3.石英坩埚适于用K2S2O7,KHSO4作熔剂熔融货样和用Na2S207(先在212度烘干)作熔剂处理货样。 4.石英质脆,易破,采用时要注意。 5.除HF外,常规稀无机酸可用作清洗液。海内惯用拉延单晶硅用石英坩埚18英寸、20英寸和22英寸坩埚。而今海内坩埚出产厂家出产的18~22英寸坩埚技能都比较成熟。其出产采用原料石英砂重要由美国入口。海内产的石英砂纯度都达不到其要求。其原料里杂质在出产时高温熔制流程中发生黑点气泡等对拉延单晶硅时其安定性都有一定影响。 |